6月24日，《证券日报》记者获悉，即日，上海证券买卖所（下称“上交所”）举办科创板“新质出产力行业沙龙”第十一期之半导体设置专场。

　　据悉，行动邀请中微公司、拓荆科技、华海清科、中科飞测4家国产半导体设置龙头企业，与多家证券公司、基金管造公司等机构投资者实行面临面互换，联合研判中国半导体设置资产近况，洞察环球逐鹿态势，摸索资产奋进赶超之途。

　　近年来，国内半导体设置杀青了从无到有、从弱到强的质的奔腾，令我国半导体资发作态和创造系统得以不息完满，国内高端设置的自给率渐渐提拔。

　　科创板举动我国“硬科技”企业纠合地，变成了市值界限超万亿元的集成电途资产集群，包罗逾110家联系上市公司，占A股同业业上市公司数目超六成。个中，半导体设置公司共12家，掩盖刻蚀、薄膜重积、CMP、量检测、洗刷、涂胶显影等多个半导体创造的闭头枢纽。

　　本次参会的4家公司恰是我国半导体设置资产中的代表性企业，与会嘉宾连系所正在细分界限，注意地先容了我国半导体设置近年来的巨大冲破与功效。

　　比如，中微公司董事长、总司理尹志尧先容，目前公司刻蚀设置已普遍利用于海表里集成电途加工创造出产线纳米及以下进步刻蚀利用需求，新开拓的多款薄膜设置也火速进入墟市，其它公司还按照墟市需求开拓数十款闭头设置。公司还通过投资，组织了集成电途及泛半导体整机设置，以及供应链上下游闭头部件界限，变成优越的集群协同效应。

　　拓荆科技董事长吕光泉先容，公司PECVD、SACVD、HDPCVD设置工艺品种已杀青总共掩盖，可能撑持逻辑芯片、存储芯片中所需的总共介质薄膜质料、约100多种工艺利用。同时，新推出的晶圆对晶圆混淆键合设置是国产首台利用于量产的混淆键合设置，其机能和产能目标均已到达国际当先秤谌。

　　华海清科董事、总司理张国铭先容设备，公司正在CMP的根基上，已向减薄设备、划切设备设备、湿法设备、晶圆再生、闭头耗材与维保任职等界限拓展，开始杀青了“设备+任职”的平台化策略组织。

　　中科飞测董事长、总司理陈鲁流露，公司通过十年的勤恳，已组织变成九大系列设置及三大系列智能软件的产物组合，可以知足国内主流客户的完全光学检测和量测需求。

　　按照SEMI（国际半导体资产协会）统计，2023年环球半导体创造设置的出卖额为1063亿美元，中国大陆半导体设置出卖额到达366亿美元，占环球半导体设置墟市的34%，相连第四年成为环球最泰半导体设置墟市，为国产半导体设置公司的兴盛带来了宏壮的墟市机缘，与此同时，环球半导体设置墟市仍处于寡头垄断景色，国产半导体设置仍正在追逐海表进步秤谌。

　　尹志尧流露，目前国内已有上百家半导体设置企业，相对成熟的有20余家，欢悦地看到，民多都正在各自界限火速兴盛，咱们有信仰杀青自立可控并到达国际进步秤谌。闭头正在于，有富足资金救援、高端研发人才积蓄以及与新质出产力相成婚的新质出产相闭举动撑持。

　　吕光泉以为，国产半导体设置相较于国际逐鹿者，上风正在于公司管造和技能团队更能切近重要客户，可以供给高效的技能救援和售后任职。与此同时，也要加大举度赓续改进，通过研发不息缩短与海表厂商的技能代差。

　　张国铭也以为，国产设置正在闭头工艺的技能救援材干、产能和产物交期确保设备、出产本钱拥有肯定上风，夸大国产设置不应当低落模范。同时也提出，目前国内验证前提、工艺数据积蓄上存正在亏欠，局部国产设置闪现同质化题目，内耗要紧且逐鹿激烈。

　　陈鲁流露，公司是国内界限最大、研发势力最强、设置品种最多的半导体量检测设置企业，设置的各项机能目标都可以对标海表垄断企业，正在国内墟市与海表垄断企业变成总共逐鹿，然而正在企业界限设备、品牌出名度等方面仍有较大差异，惟有通偏激速迭代加紧赶超。

　　半导体行业从来有“一代设置、一代工艺、一代产物”的特质。暂时，正在新一轮科技革命和资产改造的促进下，对来日半导体行业能够发作打倒性影响的新技能设备、新工艺是什么？

　　尹志尧前瞻性地提出了三维器件、AI利用、脑科学等多个前沿技能界限。收拢资产升级的墟市契机，更大水平阐发国内正在刻蚀设备、薄膜重积等设置枢纽的上风；吕光泉也流露，跟着“后摩尔时间”的光临，半导体行业不再只依赖缩短工艺极限杀青最优的芯片机能和庞杂的芯片构造，而是转向通过新的芯片计划架构和芯片堆叠的形式来杀青设备，并由此发作了新的设置需求，即混淆键合设置。

　　华海清科和中科飞测也对chiplet、HBM等进步封装技能流露体贴。张国铭流露，云估计策画、AI算力、新能源方面的需求激增，催生了Chiplet和基于2.5D和3D封装技能的HBM等进步封装技能和工艺；陈鲁也以为，AI利用为集成电途创造带来了很多工艺上的改进，征求利用正在HBM的2.5D和3D封装，为检测和量测设置提出了更高的央求，公司正在联系界限已有产物利用和计议。

　　互换流程中，与会嘉宾正在回头创业史籍时，不约而同提到了“坚决”二字。我国半导体设置资产的火速兴盛，离不筑国度战略的帮帮指示，离不开本钱墟市的大举救援，离不开一大宗“科创报国”的实干家数十年如一日地攻坚克难、改进冲破。半导体资产的兴盛任重道远，但正如尹志尧的寄语“攀缘勇者，志正在巅峰”，唯坚决和勇气，方能功效我国高秤谌科技自立自强和新质出产力的兴盛巨大。

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