PG电子设备光大证券:微导纳米为ALD 薄膜浸积当先配置厂商TOPCon 扩产元年订单放量

 常见问题     |      2023-07-08 16:36:47    |      小编

  PG电子官方网站光大证券公布最新研报暗示,微导纳米(688147.SH)依托ALD技巧主题团队,用心进步微纳米薄膜重积摆设研发与家当化运用,构修以ALD技巧为主题,表拓CVD等多种镀膜摆设的产物系统,通俗运用于逻辑、存储、高效光伏电池、新型显示等界限,正在半导体逻辑芯片、存储芯片的HKMG工艺、光伏正面氧化铝钝化层上具备较强的当先上风。

  光大证券研报写道,微导纳米是国内首家获胜将量产型TALD摆设运用于28nm逻辑芯片high-k栅介质层的摆设厂,同时加快其他工艺段TALD与PEALD摆设的研发验证设备,连续坚实角逐上风。行为国产Thermal ALD摆设佼佼者,差别化角逐战术裁减直接角逐敌手。

  其它,公司已有多台ALD摆设正在分别工艺段验证,后续批量反复订单可期,CVD系列摆设以硬掩模工艺为切入点PG电子,局部产物目前处于客户试样验证阶段。截至2023年4月25日,公司本年新签半导体摆设订单2.42亿元,与2022年终年相当设备。

  该机构暗示,ALD技巧因特此表自限性反响而拥有超薄平均镀膜、台阶笼盖率高、保形性优异的特别上风,正在28nm以下逻辑芯片三维镀膜、高妙宽比存储芯片薄膜重积中拥有无可比较名望。美国对华出口管造升温,拉拢日荷对华封闭半导体进步造程摆设,釜底抽薪倒逼我国侧重供应链平安设备,下游晶圆厂国产摆设验证志愿加强,翻开验证窗口,饱动半导体摆设国产化秤谌抬高设备,芯片微缩化发达中ALD摆设是进步造程主题摆设,利好正在要害工艺当先的微导纳米设备。

  据 SEMI2021年呈文,CVD、PVD、ALD2020-2025年市集界限年均复合延长率差别为8.5%、8.9%和26.3%。鉴于ALD为进步造程要害摆设PG电子,估计公司异日几年复合增速超其他类型薄膜摆设。

  值得闭心的是,TOPCon扩产元年,公司订单大放量,储蓄新电池摆设技巧以享用家当加快发达盈余。目前公司ALD摆设为正面Al2O3钝化层主流造备技巧,粉碎PECVD垄断,正在同类型产物中市占率环球第一,用于隧穿层与掺杂多晶硅层的PEALD二合一摆设,SiNx层的PECVD摆设市集连接翻开,与先导智能300450)协同为客户供应整线年以后TOPCon扩产加快,截至4月25日公司本年新签光伏订单20亿元,超22年终正在手订单。xBC正面Al2O3层达成家当化运用,HJT透后导电层处于开拓阶段,钙钛矿封装层已处于验证阶段,希望不才一代光伏电池新技巧量产前夜打入供应链。

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